儀器型號：Quanta 200

生產廠家：美國 FEI 公司

工作原理：電鏡是利用電子射線轟擊樣品所產生的二次電子、背散射電子、X射線等信號對樣品元素進行分析的一類電子顯微分析技術。其特點是能在觀察樣品表面微觀形貌及超微形貌結構的同時，對固體物質的微區的形貌和化學成分特征同時進行直觀、精確、快速、無損觀測分析，能對微區元素進行定性分析，定量分析，線分析，面分析等。

主要附件：X射線能譜儀；離子濺射儀；真空蒸鍍儀；Peltier冷臺、加熱樣品臺

性能及技術指標：

      ·分辨率：高真空模式下30kV：3.0 nm；低真空模式下30kV：3.0 nm；高真空模式下3kV：10 nm；低真空模式下3kV：<12 nm；高真空模式下1kV：15 nm；環境真空模式下30kV：3.0 nm；背散射電子(BSE)成像：高真空模式下30kV：4.0 nm；

　　·放大倍數：高低真空模式下：6x - 1,000,000x；

　　·加速電壓：200 V - 30 kV，連續可調；

　　·能量分辨率：Mn k α 132eV；

　　·元素分析范圍：Be4-U92；

主要功能：掃描電鏡+X射線能譜是各類材料超微結構分析和微區定性、定量成分分析的常用分析儀器，能對固體物質的微區形貌和化學成分特征同時進行直觀、精確、快速、無損觀測分析，能對微區元素進行定性分析，定量分析，線分析，面分析。

用途：廣泛應用于地質、冶金、化工、玻璃、陶瓷、金屬、半導體、新型材料、生物、醫療、考古、珠寶、形偵、國防及納米材料領域，Quanta 200 具有環境掃描功能，適用于生物和環境樣品的分析。

檢測項目：

       ·金屬材料、高分子材料、膜材料、無機鹽等固體物質及粉末樣品的形貌測試分析；

　　·固體物質微區元素的定性分析，定量分析，線分析，面分析。