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掃描電子顯微鏡—觀察微觀世界的“放大鏡”

來源:科技發展處    發布時間: 2020-08-11


   掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的觀察手段。它是用細聚焦的高能電子束轟擊樣品表面,通過電子與樣品相互作用產生二次電子(SE)、背散射電子(BSE)等信號,這些信號來自樣品的特定發射區域,并隨表面形貌的不同而變化。通過對這些物理信號收集、放大、再成像可以獲得樣品表面或斷面的形貌信息?,F在SEM都能跟能譜(EDS)聯用,對樣品成分進行定性和半定量分析。SEM是顯微結構分析的主要儀器,已經廣泛應用于材料、冶金、礦物、生物學等領域。
   膜分離材料的微觀結構決定了其宏觀性能,對膜表面微觀形貌的分析是高性能膜材料研發的基礎。膜技術與應用研究室近期購置了一臺配有EDS的臺式SEM(圖1),最高可放大到30萬倍。該SEM配備SE和BSE兩種探頭,可分別針對材料的立體形貌、元素二維分布進行觀測。圖2是該設備拍攝的RO膜表面形貌及元素成分。另外,針對非導電樣品,該設備可以在低真空度下進行拍攝。


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